
特性
- 串行接口:BiSS® C、FANUC、Mitsubishi、Panasonic、Siemens DRIVE-CLiQ®、Yaskawa
- 讀數頭尺寸:36 x 16.5 x 17.2 mm
- 100 m/s時分辨率達1 nm
- 20 °C時精度為±1 µm
- 20 °C時的柵尺熱膨脹系數:0.75 ±0.35 µm/m/°C
- 提供真空兼容和側面電纜出口型號
優點
- 精度極高且熱膨脹接近零
- 優異的運動控制性能
- 超強的抗污能力
- 寬松的安裝公差
- RMS抖動低于10 nm,提高了位置控制穩定性
- ±40 nm電子細分誤差,可實現穩定的速度控制
- 高級診斷工具選件
技術規格
測量標準
絕對編碼式高精度ZeroMet直線硬柵尺
讀數頭尺寸 (LxWxH)
36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm
柵距
標稱30 µm
20 °C時的熱膨脹系數
0.75 ±0.35 μm/m/°C
20 °C時的精度等級
認證精度達到±1 µm,校準可溯源到國際標準
柵尺長度
一些BiSS C協議類型有最大長度限制(詳見規格手冊)80 mm至1.5 m
最高速度
(詳見規格手冊)最高可達100 m/s
串行接口*
BiSS C、FANUC、Mitsubishi、Panasonic、Siemens DRIVE-CLiQ、Yaskawa
分辨率
BiSS C:分辨率為50 nm、5 nm和1 nmFANUC、Mitsubishi和Siemens DRIVE-CLiQ:分辨率為50 nm和1 nmPanasonic:分辨率為100 nm、5 nm和1 nmYaskawa:分辨率為50 nm和1 nm
電子細分誤差 (SDE)
±40 nm
電氣連接
電纜長度長達10 m,采用D型連接器(9針或15針),散線,FANUC兼容連接器,LEMO以及M12
電源
5 V ±10%,5 V時最大為250 mA(帶終端)
振動(工作)
55 Hz至2000 Hz時,最大振動為300 m/s2
沖擊(非工作)
1000 m/s2,6 ms,½正弦
工作溫度
0 °C至+80 °C
防護等級
IP64